Мета за прскање танталаје материјал који се користи у припреми танких филмова, обично се користи у припреми електронских компоненти, електронске опреме и магнетних медија за снимање, у припреми полупроводничких уређаја, металних филмова, магнетних материјала, оптичких превлака и других поља. Обично је направљен од металног материјала високе чистоће тантал, а његова површина се може хемијски третирати или механички полирати да би се постигла довољна равност и завршна обрада како би се осигурала уједначеност и квалитет премаза. Тантал мета има карактеристике отпорности на корозију, стабилност при високим температурама и добру отпорност на оксидацију, што може испунити захтеве строгих процеса припреме високе прецизности.
Има одличне физичке особине као што су висока тачка топљења, висока термичка стабилност, висока густина, низак коефицијент експанзије и ниска отпорност. Такође има високу отпорност на корозију и може да се одупре ерозији јаких корозивних медија као што су волфрамска киселина, флуороводоник и флуороводонична киселина.
Тантал мета се углавном припрема термичком обрадом, хладном обрадом и процесима металургије праха. Термичка обрада обухвата ковање, екструзију, ваљање итд. Хладна обрада обухвата глодање, бушење, стругање итд. Процеси металургије праха обухватају синтеровање, топло изостатичко пресовање, плазма прскање итд.
1. Хемијска својства
Танталум спуттеринг мета је мета од металног тантала, а њена хемијска својства се углавном манифестују у следећим аспектима:
1) Отпорност на корозију: Материјали тантала имају добру отпорност на корозију, могу се одупрети ерозији многих јаких киселина и алкалија, а такође могу одолети корозивним гасовима као што су оксидација, сулфидација и хлорисање.
2) Висока тачка топљења: Тантал има високу тачку топљења од 3017 степени, тако да има отпорност на високе температуре.
3) Стабилност: Материјали тантала имају високу хемијску стабилност и могу да задрже своја инхерентна хемијска својства од промене околине.
4) Проводљивост: Тантал је одличан проводни материјал са добром електричном проводљивошћу и електричним својствима, и широко се користи у индустрији електронике и полупроводника.
Укратко, мета тантала има хемијска својства као што су отпорност на корозију, висока тачка топљења, стабилност и проводљивост.
2. Спецификација
|
Величина |
Дебљина (мм) |
ширина (мм) |
Дужина (мм) |
|
Фолија |
0.03-0.07 |
30-200 |
>50 |
|
Лист |
0.07-0.5 |
30- 700 |
30-2000 |
|
Одбор, табла |
0.5-10 |
50-1000 |
50-3000 |
3. Физичка својства
Тантал мета је материјал који се користи за физичко испаравање, следеће су неке од његових главних физичких особина:
- Густина: Његова густина је 16,65 г/цм3 (на собној температури).
- Тачка топљења: Његова тачка топљења је 2996 степени Целзијуса.
- Отпорност на корозију: Има одличну отпорност на корозију и може стабилно да ради у инертним гасовима и већини органских киселина и алкалија.
- Проводљивост: То је одличан електронски проводник, а његова проводљивост може да достигне 15,3 МС/м.
- Магнетни: То је немагнетни материјал.
- Коефицијент топлотног ширења: Његов коефицијент топлотног ширења је 6,3 × 10^-6 К^-1.
Треба напоменути да ће на физичке перформансе танталске мете утицати различити произвођачи, тако да приликом одабира и употребе треба да се распитате о његовим специфичним параметрима физичког учинка.
4. Процес обраде
Процес производње мете тантала је следећи:
1) Изаберите и припремите основни материјал: Изаберите висококвалитетни материјал од тантала и исеците га или излијте у жељени облик.
2) Површинска обрада: Површинска обрада прскања тантала мете, укључујући механичко полирање, електролитичко полирање, итд., како би се осигурало да је површина глатка и чиста, и да испуњава захтеве површине за циљ припреме.
3) Облагање: Ставите мету у вакуумску комору и користите технике као што су физичко таложење паре (ПВД) или хемијско таложење паре (ЦВД) за премазивање.
4) Сечење и чишћење: исеците обложену мету на потребну величину и извршите чишћење и проверу квалитета.
5) Паковање и отпрема: паковање и испорука припремљене мете.
Горе наведени је општи процес припреме, а специфичне методе припреме и процеси могу варирати у зависности од величине, дебљине и поља примене различитих циљева.
Принцип рада: Поставља се у вакуумску комору током процеса припреме филма, а физичким таложењем паре, магнетронским распршивањем, физичким таложењем паре електронским снопом итд., металне сировине као што је тантал се претварају у униформне, густе и одличне кристалности филм.
5. Поља примене
Танталум спуттеринг таргет се углавном користи у производњи електронских компоненти као што су кондензатори и транзистори. Поред тога, мета тантал се такође користи у производњи оптоелектронских материјала, површинској обради, антикорозивним премазима и другим пољима. Његова висока хемијска стабилност и отпорност на корозију, као и добра чврстоћа и термичка стабилност, чине мету тантала једним од материјала избора за многе критичне примене, као што су ваздухопловство, војска, медицина и енергија.
6. Пакет и испорука


Popularne oznake: тантална мета за прскање, произвођачи, добављачи мета за распршивање тантала у Кини










